Измеритель параметров полупроводниковых приборов ИППП-1/5
Измеритель параметров полупроводниковых приборов ИППП-1/5
ИППП-1/5 измеритель параметров полупроводниковых приборов:
- измеряет и автоматизирует контроль электрических параметров полупроводниковых приборов;
- анализирует их функциональные зависимости;
- отображает на экране внешнего персонального компьютера вольтамперные характеристики исследуемого объекта в виде графиков и таблиц;
- рассчитывает на основе ВАХ стандартные параметры исследуемого объекта;
- формирует и заполняет отчет о полученных результатах.
Суть работы приборов измерители ИППП-1/5 основывается на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока.
Сфера применения: при входном контроле или для подбора полупроводниковых приборов по заданным параметрам. А также, непосредственно:
- межоперационный контроль параметров тест-структур на полупроводниковых пластинах в процессе производства в электронной промышленности;
- анализ брака;
- исследование ВАХ при разработке новых изделий и технологий.
Технические характеристики ИППП-1/5:
Каналы - 3.
Модуль - двухпроводной.
Диапазон постоянного тока - от 1 нА до 200 мА.
Поддиапазоны - ±20 нА, ±200 нА, ±2 мкА, ±20 мкА, ±200 мкА, ±2 мА, ±20 мА, ±200 мА.
Погрешность установки/измерения тока - 0,5%.
Диапазоны формирования (измерения) напряжений - от 0,1 В до 120 В.
Поддиапазоны - ±2 В; ±30 В; ±120 В.
Погрешность установки/измерения напряжения - 0,5%.
Чувствительность приборов измерители:
- напряжения - 10 мкВ;
- тока - 0,1 пА.
Длительность ступеней развертки - от 5 мс до 100 с.
Изменение величины ИППП-1/5 проводятся:
- развертка LIN - линейный закон;
- развертка LOG - логарифмический закон (по основанию - 10);
- развертка LIST - по списку значений;
- развертка SINC - синхронно -пропорционально.
Формирования развертки вида «TIME»:
- интервал времени - от 10 с до 1000 с;
- период - от 1 с до 100 с.
Дискрет формируемого постоянного тока (напряжения) - не более 0,005%.
Величина единицы младшего разряда:
-ток (в диапазоне ±20 нА) - не более 0,1 пА;
- напряжение (в диапазоне ±2 В) - не более 10 мкВ.
Ограничение выходного напряжения/тока по пороговому уровню (в режиме формирования ступенчатого сигнала развертки) - от 0,1 до 1,1 от Uк/ Iк.
Суммарное значение входного сопротивления (в диапазоне ±20 нА) - не менее 100 ГОм.
Сигнал синхронизации с уровнями ТТЛ при токе нагрузки не более 3 мА:
- напряжение уровня “логического 0” - не более 0,4 В;
- напряжение уровня “логического 1” - не менее 2,4 В.
Длительность внешнего сигнала синхронизации с уровнями ТТЛ по сигналу низкого уровня - не менее 0,1 мс.
Очереди развертки ИППП-1/5:
- быстро - от 5 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 20 мс до 100 с (задержка на вершине);
- нормально - от 50 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 100 мс до 100 с (задержка на вершине);
- медленно - от 250 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 500 мс до 100 с (задержка на вершине).
Значение амплитуды импульсов:
- быстро - от 2 мс до 20 с (импульс); от 10 мс до 100 с (пауза);
- нормально - от 50 мс до 20 с (импульс); от 100 мс до 100 с (пауза);
- медленно - от 250 мс до 20 с (импульс); от 100 мс до 100 с (пауза).
В диапазоне - от 2 мс до 100000 мс определяют:
- длительность шага по времени;
- длительность импульса;
- длительность паузы;
- длительность воздействия максимального (stress) и минимального уровней на объект.
Дискретность задания длительности - от 0,1 мс до 100 мс.
Режим ВАХ:
- формирование и измерение ступенчатого сигнала развертки;
- формирование и измерение тока(напряжения).
Режим измерения времязависимых параметров.
Время установления рабочего режима - 15 мин.
Непрерывная работа ИППП-1/5 - не менее 16 ч.
Интерфейс - RS-232.
Напряжение сети переменного тока - 220±22 В.
Частота сети переменного тока - 50±1 Гц.
Потребляемая мощность ИППП-1/5 - не более 120 В·А.
Средняя наработка на отказ - не менее 8000 ч.
Средний срок службы измерителей - не менее 6 лет.
Среднее время восстановления работоспособности прибора - не более 4 ч.
Габаритные размеры - 450×280×430 мм.
Масса - не более 23 кг.
Условия эксплуатации ИППП-1/5:
Температура окружающей среды - от 5º С до 40º С.
Относительная влажность воздуха, при температуре 25º С - до 80%.
Атмосферное давление - от 84 кПа до 106,7 кПа (от 630 мм рт.ст. до 800 мм рт.ст.).